破解国产倒片机自动化难题,京仪装备成功研发出国内首台晶圆自动翻转倒片机(2019-12-19)
【摘要】 12月19日,集微网讯,据北京亦庄官方消息,位于北京经开区的北京京仪自动化装备技术有限公司(以下简称“京仪装备”),成功研发出国内首台晶圆自动翻转倒片机,破解了国产晶圆自动翻转倒片机自动化难题。晶圆自动翻转倒片机是一项难度极高的工艺,用力过猛容易导致晶圆表面破损,力度太小晶圆则会自动脱落,加之晶圆表面的高精密性,倒片机只能夹住晶圆的两边进行自动翻转,这就给自动翻转倒片机的研发带来了难题。京仪装备技...
【关键词】京仪装备,国产倒片机,自动化难题